净化工程 朗洁万达科技 实验室净化工程施工与设计

做好洁净室施工的要点

1、暖通专业

良好的温湿度控制是电子行业洁净厂房的一个重要要求。只有准确有效的温湿度控制才能保证电子产品的质量。进行电子行业洁净厂房的温湿度控制时，一方面要做好绝热保温措施，另一个重要的方面就是搭建合理有效的暖通设备，以有效的调节室内温湿度。要选择合适的暖通设备。电子行业洁净厂房结构不同，空间大小各异，生产的电子产品规格和型号不同对温湿度的要求也不同，在暖通设备的选择过程中要考虑自身具体的情况，以及温湿度调节的需求，选择适宜的暖通设备；搭建暖通风管时也要谨慎认真，结合电子行业洁净厂房的结构进行搭建，确保温湿度控制的充分性和有效性。要注意风管管路内部的清洁性和密封性，因为其中的粉尘有可能会渗透到电子产品的工作环境中，影响产品质量。

2、装修专业

电子行业洁净厂房另一个重要的要求是洁净度。在电子行业洁净厂房的施工过程中，一定要控制结构和材料，尽可能的使电子行业洁净厂房免受装饰材料的影响。在电子行业洁净厂房材料的选择中，要选用不积尘的材料，这样可以有效的避免尘埃的积累，保证电子产品生产过程中的清洁干净；在电子行业洁净厂房的施工中，要注意结构的封闭性，这样即可以保证电子行业洁净厂房免受外界尘埃的影响，也可以起到一定的绝热作用，保证室内的温度适宜电子产品的生产和保存。

在电子产品的生产过程中，极少的粉尘也会严重影响电子产品的质量。电子行业洁净厂房的清洁要满足严格的标准。保证室内均匀的气流分布，也是电子行业洁净厂房施工中要考虑的一个重要方面。如果室内的气流不稳定，那么湍急的空气会将粉尘带入电子产品的生产环节中，影响电子产品的质量。电子行业洁净厂房洁净度等级共划分为9个级别，1?5级的气流组织为垂直或水平单向流洁净室，6?9级则采用非单向流即乱流。均匀气流分布主要作用在于限制和减少灰尘对工件或工作区域的污染。而电子行业洁净厂房的结构是室内气流分布的决定因素，在设计和施工中，要考虑到结果对气流的影响，施工结束后还应测试气流水平，符合其标准。

3、电气及自控

电子行业洁净厂房的电气设施和自控设备也是施工过程中的一个重要环节。电气设施是电子行业洁净厂房的核心，它的正常工作是电子产品有序生产的保证。在电气设施的安装过程中要考虑电子行业洁净厂房电子线路的总功率和线路结构，进行合理的选择和安装；自控设备也要具体考虑电子行业洁净厂房情况，合理选用和安装。洁净室净化工程施工与设计，要注意自控设备的的合理性及及时性，注意节能。

净化空调系统是电子行业洁净厂房中的重要电气设施，是控制室内温湿度、气流风速和压力梯度的关键系统，系统中的过滤器更是承担着除尘的重要任务。在净化空调系统的施工中，一定要注意各个设备的质量，保证整个系统工作的有效性。施工完成后，还应对其工作效果进行测试，净化工程，保证满足电子行业洁净厂房的标准。

4、施工时注意各工序之间的配合

在电子行业洁净厂房的施工过程中，朗洁万达以遵循先外后里，先主后次的原则。如果施工计划不合理，施工顺序混乱，会严重影响施工质量，为今后电子产品的生产带来不便与不良影响。电子行业洁净厂房的施工要制定合理的施工计划，考虑各个施工环节之间的相互关系和相互影响，确保施工过程合理有序；在施工过程中，要注意对以完成的施工项目进行保护；在施工过程中要注意洁净，尽可能的避免产生大量粉尘，保证室内环境的清洁。

三、结语

电子厂围护结构的密闭性，洁净室的洁净度，精密制造净化工程，温湿度控制的有效程度以及电气设备的质量是电子行业洁净厂房的重要指标，会影响室内生产和存放的电子产品的质量。在电子行业洁净厂房的施工过程中要格外注意这些方面的施工质量，确保电子行业洁净厂房可以为电子产品的生产和存放提供一个适宜的环境。

新建实验室工程设计施工、广东实验室设计施工

我们执行FS209E美国联邦标准、ISO14644-1、GB50073-2001国家标准、工业洁净厂房净度标准GMP-97及国家GMP、QS规范要求为客户提供专业的空气净化系统工程和实验室工程设计、施工、检测及技术支持服务，可根据客户对洁净室系统的技术要求和实际现场情况规划设计、施工及制作专业净化设备〔主要产品包括:除尘除静电净化设备、全自动人/货风淋室、传递窗、洁净工作台、净化流水生产线、送风口、风机过滤单元（FFU）、烟尘收集器、移动自净器、无尘储物柜、除湿净化机、组合式空气处理机组等净化设备及过滤器、中效过滤器、过滤器、初效过滤器、烟尘空气过滤器等〕。

洁净室又叫无尘室或清净室，为将一定空间范围之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电

控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

 洁净室之使用，大致可分为二类。

1、工业用洁净室简称I.C.R，以半导体、电子工业、光学机器、精密机械、精致涂装、新素材及航空等为范围，主要控制尘埃粒子。优点有三：A.提高品质及优良率；B.节省产品工时及成本；C.降低费用。该类洁净室一般具有正压式洁净环境。

2、生化用洁净室简称B.C.R，以制药、医学、遗传基因产业、生命科学、设施、食品及生物实验室等范围，主要控制生物粒子及尘埃。优点有三：A.防止感染；B.提高食品、药物品质；C.延长食品及药物之储存期限。有害生物实验室必须采用负压式洁净室。

 目前，大多数厂家在设计筹集无尘车间的时候，都只考虑产品生产制造和组装车间的洁净度考虑，工程验收后认为等级合格，加上简单的耗材更换就可以长期保证空间的洁净度和所生产1产品的优良率，事实是在此后的使用中会发现：洁净等级下降、风压减少、温度和湿度达不到要求、设备经常发生故障、地面损坏和达不到防静电导静电要求等等问题层出不穷。当检查出一二个问题所在，排除了也不能解决整个车间的良性运转。

其实，无尘室建成后，是需要严格的管理和系统的维护的，才能保证空间洁净等级长期达标和设备的长效使用！

电子工厂别洁净厂房的建造特点

1电子工厂生产工艺对受控环境的要求

电子工厂如大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)等微电子(IC)工厂；液晶显示器(LCD)、彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)以及发光二极管(LED)、有机电致发光显示器(OLED)、高分子有机电致发光显示器(PLED)等光电子工厂都离不开洁净的生产环境。生产所要求的环境不仅仅有：建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料，还有声、光、电、磁、振等各种环境。例如：建筑的形式和层高、结构的承重、围护结构的装修材料；环境空气的洁净度、温湿度、静压力；水和气体的纯度和粒子、重金属的含量以及环境的噪声、照度、静电、电磁屏蔽、微振等等。电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精、纯、严五个字来形容。

·大：生产工艺要求洁净室的面积越来越大。就拿彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)生产用洁净室的面积来说，5代TFT生产用洁净室的面积约28000m2；6代TFT洁净室的面积约40000m2；到了8代TFT生产用单间洁净室的面积就大到80000m2以上。洁净室内可停放20多架波音747飞机。

·净：电子工厂，尤其是微电子(IC)前工序和光电子(TFT-LCD)前工序的洁净室对环境洁净度的要求越来越净。例如，12时园片超大规模集成电路前工序光刻间的洁净度要求高达1级(0．1um)也就是每立方英尺空气中≥O．1um的粒子数不能超过1颗。相当于ISO1级。

·精：电子工厂生产工艺对环境空气温、湿度的控制精度要求越来越精。还以上述微电子的光刻间为例：其温度精度为士0．1℃，相对湿度的精度为士3％。

·纯：大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。例如：对高纯水而言，不仅对其电阻率有要求，对高纯水中所含粒子、重金属以及其他元素的离子成份都有严格的要求，随着生产工艺的发展，对其纯度的要求也越来越高。可谓纯之又纯。

·严：电子工业生产不仅对环境的洁净度，温、湿度有严格的要求，对环境的声(噪声)、光(照度)、电(静电)、磁(电磁场屏蔽)、振(微振)等都有严格的要求。尤其微电子生产，实验室净化工程施工与设计，对环境的分子级污染提出了新的严格的要求。分子污染是指环境空气中要严格控制例如钠(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等对半导体工艺有害的元素。在处理空气时还要用淋水(淋自来水、淋纯净水)来吸收室外空气中的有害分子成份和用化学过滤器来吸附新风中的有害分子成份。

2电子工厂别洁净室多采用混合流洁净室

为了降低洁净室的建造初投资和运行能耗，电子工厂的别洁净室一般把ISO 1级～ISO5级这样高净化级别的垂直单向流用在工艺生产重要、关键的部位，用大面积的非单向流(ISO 6级～ISO8级)替代大面积的单向流，也就是把垂直单向流与非单向流组合在一个洁净室内，构成混合流洁净室。

混合流洁净室的净化空调系统一般采用新风机组(MAU)加风机过滤器机组(FFU)加干冷盘管(DC)的送风方案。当前国内外微电子、光电子等大面积的生产厂房广泛采用的混合洁净室，具有调节方便、节能显著、灵活性强，适应电子工业工艺的更新换代，又能节能非生产面积和非生产空间等优点，是较佳的空气处理方案的送风系统。

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